白光形貌测量仪

国际前沿的高分辨率三维图像扫描与表面形貌测量

• 通过测量光的波前差异来获取表面形貌，无需接触被测物表面，避免了损伤或污染被测工件的风险。

• 白光干涉形貌测量仪在纳米级别能够测量物体表面形貌，具有较高的测量精度。

• 白光干涉形貌测量仪可以在较短的时间内完成形貌测量，并且能够实现实时监测和反馈。

特色功能

• 用于自动测量样品的二维、三维表面形貌、表面粗糙度、关键尺寸（包括高度、孔洞深度、长度等）、关键部位的面积和体积等表面参数

• 最小2nm 的分辨率；测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高；

• 测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等)

• 适合测量高坡度高曲折度的材料表面

• 测量简单，样品无需特殊处理